產品訊息 | 電漿試片

運用試片,輕鬆的了解現行使用電漿的均勻性、能量等相關資訊。不需等到產品出狀況才去找原因,可作為日常生產監控的新利器。

O₂ /Ag洗淨用

說明 :
O₂洗淨用適用於O₂、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃等自由基性電漿的感測片。
Ag洗淨用能有效率的檢測因O₂洗淨用感測片難以檢測之離子性Ar電漿。
若為自由基性電漿或與自由基元混合之氣體時,應使用O₂洗淨用感測片。

用途 :
O₂洗淨用適用於UV洗淨、UV臭氧洗淨。

感度 : 各3種

耐熱型

說明 :
色材採用無機材料,基材則為PI材質,具背膠同時也能耐高溫(200℃)

用途 :

  • 因產品具柔軟性及黏著性,可自由貼附於基板表面或設備內部。
  • 因可耐熱至200℃,故可使用於使用環境溫度較高的測試標的物。

感度 : 2種

大氣電漿用

說明 :
可針對大氣電漿的自由基種類進行檢測。

用途 :
適用於印刷電路板製造、FPD製造、膜加工等大面積的大氣(常壓)電漿處理、UV洗淨、UV臭氧洗淨等。

感度 : 2種

Wafer型

說明 :
為與Wafer相同形狀之感測片,故以一般生產流程手送方式即可放置,並可簡單測出面內電漿分布採用不含有機材料的陶瓷膜,耐熱性提高至400℃,即使是高溫製程溫製程也可安心使用Wafer基板有矽與藍寶石兩種可供選擇。

用途 :
因採無塵設計,適用於LED與MEMS等工程。

感度 : 1種